nanoLINE

Technische Daten

nanoLINE 40 500
x-Hub 240 mm 300 mm
Y-Hub 100 mm 150 mm
Z-Hub 30 mm 40 mm
Drehachse endlos endlos
Positionsauflösung 100 nm 100 nm
max. Geschwindigkeit 200 mm/s 200mm/s
Wiederholgenauigkeit < 1 µm < 1 µm
max. Handhabungsgewicht 40 g 500 g
Grundfläche 410 x 280 mm 610 x 330 mm

Merkmale

  • 4-Achs-System für die Mikromontagetechnik
  • kompakte Bauform ermöglicht Betrieb im Mini-Environment
  • hohe Flexibilität durch modularen Aufbau
  • höchste Wiederholgenauigkeit und Präzision
  • Luftlagerführung
  • Direktantrieb aller Achsen
  • direkte optische Wegmesssysteme (100 nm-Schritte)
  • Visualisierung über Touch-Panel
  • NC-Programme über PA-CAM